離子注入機是高壓小型加速器中的一種,應(yīng)用數(shù)量最多。它是由離子源得到所需要的離子,經(jīng)過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流,用做半導(dǎo)體材料、大規(guī)模集成電路和器件的離子注入,還用于金屬材料表面改性和制膜等。
離子注入機由離子源、離子引入和質(zhì)量分析器、加速管、掃描系統(tǒng)和工藝腔組成,可以根據(jù)實際需要省去次要部位。離子源是離子注入機的主要部位,作用是把需要注入的元素氣態(tài)粒子電離成離子,決定要注入離子的種類和束流強度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子,當(dāng)外來電子的能量高于原子的電離電位時,通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原始電子外,還出現(xiàn)正電子和二次電子。離子注入機工作需要360°旋轉(zhuǎn),會要到繞線的煩惱,這就需要用到滑環(huán),默孚龍是全球領(lǐng)先的滑環(huán)制造商,其MQR系列超低扭矩旋轉(zhuǎn)滑環(huán)廣泛應(yīng)用離子注入機,受到社會一致好評。
默孚龍MQR系列超低扭矩旋轉(zhuǎn)滑環(huán)主要特點:
1.可完全替代各系列的SMC氣動旋轉(zhuǎn)接
2.可通過 1/2/4/6/8/12/16 通道氣壓或真空
3.轉(zhuǎn)動扭矩超級低
4.標準接口有M5
5.可根據(jù)客戶要求定制氣體管子大小
6.可傳輸氣壓,真空等介質(zhì)
7.可定制各類低扭矩旋轉(zhuǎn)接頭,高速旋轉(zhuǎn)接頭,M5氣管旋轉(zhuǎn)接頭等
8.實心,無中間通孔,體積小
默孚龍品牌創(chuàng)立至今,我們始終堅持最苛刻的品質(zhì)標準,充分吸取德國工業(yè)工藝的精髓,始終致力將默孚龍打造成全球高端滑環(huán)知名品牌。
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