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導(dǎo)電滑環(huán)在單晶爐設(shè)備中應(yīng)用有哪些

發(fā)布日期:2020-11-18

  本技術(shù)涉及用于真空設(shè)備中籽晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的水電連接機(jī)構(gòu)。 現(xiàn)在,用公知單晶爐設(shè)備的種晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)自轉(zhuǎn)的水、電的連接結(jié)構(gòu)很重,大多用軸承、橡膠環(huán)、帽等部件實(shí)現(xiàn)軸水冷的密封,不僅軸密封不可靠,而且結(jié)構(gòu)龐大,安裝、維護(hù)時(shí)也不方便。

導(dǎo)電滑環(huán)

  單晶爐的構(gòu)成主要如下。

  拉晶頭:主要由安裝盤(pán)減速器種子型腔劃線電機(jī)磁流體種子重量頭軟波紋管、導(dǎo)電性滑環(huán)等其他部件組成。

  副室:主要由副室筒及上下及凸緣組成

  爐蓋:由副室連接凸緣、反板閥、觀察窗抽真空管路組成

  爐筒:包括取光孔

  下?tīng)t筒:包括抽真空配管

  基礎(chǔ)機(jī)架:主要是全鑄鐵機(jī)架和基礎(chǔ)

  坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體電動(dòng)機(jī)坩堝支撐軸減速器軟波紋管柱上下傳動(dòng)支撐框?qū)к壍冉M成

  分水器已經(jīng)是水路配置,包括分水器、供水水管、幾個(gè)軟管水管罩等。

  氬管配置:質(zhì)量流量計(jì)3根以上柔性管不銹鋼管3個(gè)壓力探測(cè)器高密封性咬入等部件

  真空泵及真空除塵裝置:液壓真空泵水環(huán)真空泵過(guò)濾器真空配管硬波紋管等

  電源及控制柜:電源柜濾波器柜控制柜及連接線。

  默孚龍電子針對(duì)上述存在的技術(shù)問(wèn)題,為了解決籽晶棒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在水、電方面的安裝、維護(hù)的不便等問(wèn)題,提供了全局合理緊湊、操作方便的水電連接機(jī)構(gòu)。 為了實(shí)現(xiàn)上述目,技術(shù)方案是,配置在安裝于籽晶軸的導(dǎo)電性滑環(huán)的上方,其內(nèi)圈固定于籽晶軸的旋轉(zhuǎn)接頭;導(dǎo)電滑環(huán)的外圈分別經(jīng)由連接板固定于固定框架,旋轉(zhuǎn)接頭和籽晶軸內(nèi)孔采用內(nèi)環(huán)旋轉(zhuǎn)外環(huán)不旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)接頭和導(dǎo)電性滑環(huán),實(shí)現(xiàn)了籽晶軸自轉(zhuǎn)時(shí)的水電連接,使水管和電纜的安裝、維護(hù)變得容易。


部分滑環(huán)參考型號(hào):

MB120系列工業(yè)總線滑環(huán)|cc-link滑環(huán)|ethercat導(dǎo)電滑環(huán)集電環(huán)
MB250系列工業(yè)總線滑環(huán)|canbus滑環(huán)|profibus導(dǎo)電滑環(huán)集電環(huán)
MB500系列工業(yè)總線滑環(huán)|canopen滑環(huán)
MK21系列2進(jìn)2出,2通路氣/氣電一體旋轉(zhuǎn)接頭(氣滑環(huán))
MK23系列2進(jìn)2出,2通路氣/氣電一體旋轉(zhuǎn)接頭(氣滑環(huán))
ME2132系列1路千兆網(wǎng)線滑環(huán)|網(wǎng)線集電環(huán)
ME2201系列1路千兆網(wǎng)線滑環(huán)|網(wǎng)線滑環(huán)
MP350系列內(nèi)徑50mm盤(pán)式滑環(huán),旋轉(zhuǎn)門(mén)滑環(huán)
MP370系列內(nèi)徑70mm大內(nèi)孔盤(pán)式滑環(huán),醫(yī)藥設(shè)備,干燥設(shè)備滑環(huán)
MK41系列4進(jìn)4出,4通路氣/氣電組合旋轉(zhuǎn)接頭(氣電滑環(huán))

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